Đây sẽ là một câu trả lời "Meta" đề cập đến các câu trả lời khác để sửa một số quan niệm sai lầm.
Trong quá trình sản xuất VLSI, các độ phân giải in thạch bản khác nhau được sử dụng ở các cấp độ khác nhau và CHỈ các chi tiết hiện đại nhất và tốt nhất được sử dụng ở cấp độ định nghĩa GATE. Ngay cả các bước trước định nghĩa Poly Silicon cũng được thực hiện bằng các công cụ in thạch bản cũ hơn (như định nghĩa vùng hoạt động STI - LOCOS, v.v.).
Lý do rất đơn giản, tại sao sử dụng các công cụ tiên tiến nhất (và do đó đắt nhất) sử dụng mặt nạ đắt nhất để xác định các lớp vốn cần ít độ phân giải hơn?
Thật vậy, kim loại hàng đầu có xu hướng rất dày để hỗ trợ nhiều dòng điện hơn để ngăn chặn sự di chuyển điện và để giảm sức cản của đường ray điện.
Ví dụ, trong quy trình 180nm, cổng được xác định bằng cách sử dụng quang khắc dựa trên laser KrF @ 248nm với mặt nạ thay đổi pha 5X. Điều này cũng được sử dụng cho danh bạ. Metal 1 có thể được thực hiện trong một bước hơn là sử dụng i-line @ 365nm và cả mặt nạ 5X, nhưng không áp dụng hiệu chỉnh pha.
Vấn đề là, các lớp trên cùng của chip có độ phân giải thấp hơn nhiều và cao hơn nhiều so với quy trình được "định nghĩa là" - và thậm chí định nghĩa đó trở nên thú vị rất nhiều lần.
Kim loại hàng đầu có thể có kích thước tính năng tối thiểu lớn tới 3um trong quy trình 180nm ở trên, tôi đã kiểm tra.
Sự thụ động của Top Die thường là Si3N4 hoặc polyimide. Mà đã được loại bỏ trong những hình ảnh.
Vì vậy, điều có thể xảy ra nhất là những bức ảnh đó là những bức ảnh ánh sáng thực sự có thể nhìn thấy được chụp bằng kính hiển vi. Màu sắc có thể là do chiều cao cấu trúc theo thứ tự bước sóng ánh sáng và có hiệu ứng nhiễu xạ. Nhưng vì chúng ta không có quy mô nên không an toàn để xác định.
Nhưng nó có thể là một ElectronMicrograph đã được tô màu cho "prettiness". Nó dường như đến từ bìa của một cuốn sách, và ai biết bộ phận nghệ thuật của họ làm gì ở đó.
Vì vậy, tôi không sẵn sàng nói một trong những điều khác rằng đó là quang học hoặc SEM. @ W5VO quan sát rằng độ sâu trường ảnh có vẻ quá lớn đối với quang học và tôi đồng ý. Chúng ta không biết quy mô ở đây, những cấu trúc đó có thể dễ dàng là 10 micron trong thời đại.
Chưa bao giờ nghe về một vi chương trình điện tử - theo các quy ước đặt tên tiêu chuẩn sẽ chuyển thành một "thông điệp điện tử nhỏ", tôi cũng không thể tìm thấy các liên kết đến bất kỳ điều gì đề cập đến điều đó. Vì vậy, tôi rất thích nghe những gì có thể được.