Bất kỳ một số vật liệu bán dẫn nào cũng có thể được sử dụng, thực sự thì bóng bán dẫn đầu tiên thực sự là một bóng bán dẫn Germanium (Ge). lý do thực sự khiến Si chiếm ưu thế đến 4 lý do chính (nhưng # 1 là lý do chính):
1) Nó tạo thành một oxit có chất lượng rất cao, bịt kín bề mặt với rất ít lỗ pin hoặc khe hở. - điều này cho phép tạo khoảng cách MOSFET dễ dàng hơn khi SiO 2 tạo thành lớp cách điện cho Cổng, - SiO 2 đã được gọi là người bạn thiết kế chip.
2) Nó tạo thành một Nitride rất cứng, Si 3 N 4 Silicon Nitride tạo thành một chất cách điện bandgap rất cao không thấm nước. - điều này được sử dụng để thụ động (đóng dấu) chết. - cái này cũng được sử dụng để làm mặt nạ cứng và trong các bước quy trình khác
3) Si có dải băng rất đẹp ~ 1,12 eV, không quá cao để nhiệt độ phòng không thể ion hóa nó, và không thấp đến mức nó phải có dòng rò cao.
4) nó tạo thành một vật liệu cổng rất đẹp. Hầu hết các FET hiện đại được sử dụng trong VLSI (cho đến các thế hệ mới nhất) đã được gọi là MOSFET nhưng thực tế đã sử dụng Si làm vật liệu cổng. Nó chỉ ra rằng rất dễ dàng để lắng đọng Si không kết tinh trên các bề mặt và nó dễ dàng được khắc với độ chính xác cao.
Về cơ bản sự thành công của Si là sự thành công của MOSFET, với sự mở rộng và tích hợp cực đoan đã thúc đẩy ngành công nghiệp. Mosfet không dễ dàng được sản xuất trong các hệ thống vật liệu khác và bạn không thể lái cùng một mức độ tích hợp trong các chất bán dẫn khác.
GeO 2 - hòa tan một phần
GaAs - không tạo thành oxit
CO 2 - là chất khí
Chất bán dẫn được sử dụng vì với sự nhiễm bẩn có chọn lọc (được gọi là dopants), bạn có thể kiểm soát các thuộc tính của vật liệu và điều chỉnh cơ chế hoạt động và vận hành của nó.