Bộ lọc của Bayer được sản xuất như thế nào?

Tiếp theo từ một câu hỏi trước đó về bộ lọc bayer, tôi đã tự hỏi:

Chúng thực sự được sản xuất như thế nào? Làm thế nào để họ áp dụng một lượng nhỏ thuốc nhuộm như vậy cho mỗi pixel phụ?

Dự đoán tốt nhất của tôi sẽ là một số loại khắc hóa học dựa trên quang học theo sau là một bể nhuộm ... (Mỗi màu)

sensor bayer manufacturing

— Lightcraft kỹ thuật số
nguồn

vi.wikipedia.org/wiki/Color_filter_array có một phần về quy trình sản xuất

— dav1dsm1th

Oooh điểm tốt! @ dav1dsm1th - kỳ lạ là wiki bộ lọc bay thực tế không đề cập đến quy trình, tôi sẽ đọc ...

— Digital Lightcraft

Từ bản tóm tắt của bài viết này Mảng bộ lọc màu cho các cảm biến hình ảnh CCD và CMOS sử dụng bộ quang điện tử được nhuộm trước bằng phương pháp khuếch đại hóa học được xử lý nhiệt hóa cho quang khắc 365nm

Diazonaphthoquinone-novolak photoresist được sử dụng để sản xuất các bộ lọc này bằng cách liên tục lắng đọng và tạo thành từng lớp màu.

Sự hiểu biết của tôi về trích dẫn này là quá trình như sau

Chất quang điện tử (một chất polymer và chất nhạy cảm tương đối trong suốt trong khả năng nhìn thấy nhưng hấp thụ mạnh trong UV bắt đầu từ 450nm) với chất nhuộm thêm (đỏ, lục hoặc lam) được lắng đọng trên bề mặt cảm biến
Một mặt nạ có hoa văn kim loại được đặt trên quang điện tử
Vùng bị che khuất của chất quang dẫn được tiếp xúc bởi một nguồn ánh sáng UV mà trên đó diazonaphthoquinone được chuyển đổi
Mặt nạ được gỡ bỏ
Chất quang dẫn tiếp xúc được hòa tan với dung môi nước, khu vực không phơi sáng không hòa tan dễ dàng và do đó vẫn còn
1-5 được lặp lại bằng cách sử dụng thuốc nhuộm khác nhau và mặt nạ khác nhau

Xem en.wikipedia.org/wiki/Diazonaphthoquinone để biết mô tả về cách thức hoạt động của quang học này.

— Brian Kubera
nguồn

Tôi nghi ngờ nên có một bước nướng trong khoảng từ 5 đến 6 hoặc sau 6. Cũng có thể có một bước nướng giữa 1 và 2.

— Brian Kubera

Liên kết đẹp - Tuy nhiên, bài viết này đã 16 năm tuổi, do đó, với mật độ chip ccd / cmos tăng lên, do đó, đây có thể không phải là phương pháp hiện tại ... ví dụ như có thể tạo mặt nạ kim loại đủ tốt cho chip ngày nay?

— Lightcraft kỹ thuật số

Nó đã được một sự gia tăng lớn? Tôi nghĩ rằng mật độ điểm ảnh đã tăng thêm khoảng 10 lần. Do đó, kích thước tính năng tuyến tính sẽ chỉ phải giảm đi 3 lần. Tuy nhiên, có lẽ bạn đã đúng khi chỉ ra rằng việc đặt mặt nạ trực tiếp lên máy quang điện tử có lẽ không làm thế nào nó được thực hiện. Nó giống như là mặt nạ được tạo hình trên máy quang điện tử và đồng thời giảm xuống khi cần thiết để làm phẳng các thiết bị điện tử của cảm biến. Tôi sẽ chỉnh sửa câu trả lời để phản ánh điều này.

— Brian Kubera

Sau khi xem xét thêm, tôi nghĩ rằng một mặt nạ tiếp xúc, như tôi đã mô tả lần đầu tiên, có nhiều khả năng được sử dụng để tạo bộ lọc màu. Độ phân giải của mặt nạ kim loại có thể tốt hơn 100nm. Kích thước pixel là theo thứ tự 1um.

— Brian Kubera

Một vấn đề tôi chưa bao gồm là sự hình thành của mảng thấu kính vi mô, nếu có, có thể tách rời hoặc một phần tích hợp của bộ lọc màu.

— Brian Kubera