Tôi có một sơ đồ cho một số dòng khí trong một đơn vị xử lý wafer. Một trong những biểu tượng xảy ra là một vòng tròn có dấu x trong đó có các phần bên trái và bên phải được điền vào để tạo thành hai hình tam giác màu đen. (Tôi đã đính kèm một bản vẽ.)
Từ ngữ cảnh, tôi có thể nói rằng những cái này đại diện cho các van để cho phép hoặc chặn dòng khí chảy. Tuy nhiên tôi muốn tìm biểu tượng này trong một số hướng dẫn để đưa ra một cách giải thích chính xác hơn về ý nghĩa, và chỉ để có một thẩm quyền mà tôi có thể trích dẫn.
Tôi đã không tìm thấy biểu tượng trong bối cảnh của sơ đồ dòng khí trong bất kỳ tài liệu tham khảo trực tuyến nào.
Tôi có thể nhìn ở đâu và như thế nào?